如何检测金刚石刀具刃口锋利度和粗糙度及刀面质量？

  刃磨后的金刚石刀具刃口及刀面质量将直接影响被加工零件表面质量完整性。

  如切削刃钝圆半径R过大，会增加刀具切入工件的难度、增加切削力、加大表面的变形程度及变形层深度，刃口锯齿度、刃口和刀面的表面粗糙度、波度都会复印到已加工工件表面等。所以，在超精密切削加工中金刚石刀具刃口的锋利度、刃口及刀面的表面粗糙度、刃口的几何精度是衡量金刚石刀具质量的重要技术指标。

  一般来说，高精度金刚石车刀刃磨指标为刃口钝圆半径R≤ 0.05μm刃口及刀面表面粗糙度值Ra≤0.01μm或更小，线轮廓度和圆轮廓度不大于0.05μm或更小，因此，选择合理的金刚石刀具刃口检测方法是保证刀具刃磨质量的重要手段之一。

  目前国际上最流行的测量金刚石刀具切削刃钝圆半径的方法是扫描电子显微镜法，由于采用该方法之前必须在金刚石表面镀上一层导电薄膜，故测量不能反映刀具刃口及刀面的真实形貌，且当刀具刃口钝圆半径R<100nm后，该方法的分辨率明显不够，图像边缘比较模糊，难以实现100nm精度内的有效测量。

  国际上已出现了一些高精度的测量方法，如日本国立横滨大学提出用SEM检测的细金线压痕法、美国Oklahoma大学提出的直接用原子力显微镜测量金刚石刀具切削刃钝圆半径等。

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